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由哪几部分组成中央真空系统?

日期:2020-09-20 02:00
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摘要: 东莞曼特莱真空科技有限公司为您介绍由哪几部分组成中央真空系统? 中央真空系统是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。目前,该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。 真空系统的控制系统由先进的PLC控制系统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。 工作流程:启动系统,主真空泵组开始工作,直到真空罐内真空度达到设定的上限值,真空泵自动停止...

东莞曼特莱真空科技有限公司为您介绍由哪几部分组成中央真空系统?

中央真空系统是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。目前,该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。

真空系统的控制系统由先进的PLC控制系统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。
工作流程:启动系统,主真空泵组开始工作,直到真空罐内真空度达到设定的上限值,真空泵自动停止运行,中央真空系统内的真空由管路上的真空止回阀自动截止而得到维持。如因工作需求真空罐内真空度下降并低于设定的下限值时,备用真空泵组自动启动。由此循环往复,真空系统的真空度能够维持稳定的真空源,满足生产的要求。

真空系统自启动后,全部运行过程可以实现全自动控制。在工作中,真空系统内各处的真空度(即真空稀薄程度平均分布)始终在其允许范围内上下波动,其波动范围可根据用户要求进行调整。

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