产品详情
  • 产品名称:Alcatel 阿尔卡特ADP122真空泵维修

  • 产品型号:ADP122
  • 产品厂商:Alcatel 阿尔卡特
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简单介绍:
阿尔卡特ADP122真空泵维修 应用: H 型:针对非常苛刻的工艺 P 型:针对中等工艺 LM 型:针对干净的工艺 优点: 体积小,占地面积小 使用成本低 非常高的性能(抽速以及极限压力) 在苛刻环境下出色的运行效果 易于一体化 先进的监控功能 (待机状态可减少N2 的消耗量,断电保护) SEMI S2-93 标准的兼容性(可选)
详情介绍:

阿尔卡特ADP122真空泵维修
应用:
H 型:针对非常苛刻的工艺
P 型:针对中等工艺
LM 型:针对干净的工艺
优点:
体积小,占地面积小
使用成本低
非常高的性能(抽速以及极限压力)
在苛刻环境下出色的运行效果
易于一体化
先进的监控功能 (待机状态可减少N2 的消耗量,断电保护)
SEMI S2-93 标准的兼容性(可选)
􀁺 通过减小气体经过的中间腔的容积
􀁺 通过在泵的每上等进行 N2 吹扫从而稀释工艺气体(P 和H 型)
􀁺 通过调节真空泵的温度使其符合各个工艺,从而限制气体在泵内的冷凝(P 和H 型)
多级罗茨的工作原理:
ADP 真空泵由5 级罗茨组成。两个转子旋转时互不接触。
ADP 122,共有2 个型号
ADP 122 P: 和外部的密闭机架一体化,包含:泵,监控系统,手动遥控器,水电气设施接
口,流量计面板,OEM 接口和串口连接等。
ADP 122 LM: 简化后的带监控系统的型号,用于干净的工艺(load-lock 和transfer chamberpumping)。

阿尔卡特干泵的设计可将潜在沉积物蕞小化:
􀁺 通过减小气体经过的中间腔的容积
􀁺 通过在泵的每上等进行 N2 吹扫从而稀释工艺气体(P 和H 型)
􀁺 通过调节真空泵的温度使其符合各个工艺,从而限制气体在泵内的冷凝(P 和H 型)
多级罗茨的工作原理:
ADP 真空泵由5 级罗茨组成。两个转子旋转时互不接触。
ADP 122,共有2 个型号
ADP 122 P: 和外部的密闭机架一体化,包含:泵,监控系统,手动遥控器,水电气设施接
口,流量计面板,OEM 接口和串口连接等。
ADP 122 LM: 简化后的带监控系统的型号,用于干净的工艺(load-lock 和transfer chamberpumping)。

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