产品详情
  • 产品名称:爱德华IH160真空泵维修

  • 产品型号:IH160
  • 产品厂商:EDWARDS 爱德华
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简单介绍:
Edwards iH 干泵为高难度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品)提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列具有五级主泵,使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨设计,可改善粉尘的处理,减少排气噪音。此外,iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全封闭的水冷却电机。欢迎来电垂询爱德华IH160真空泵维修价格。
详情介绍:

爱德华IH160真空泵维修

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。

 iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
东莞曼特莱真空科技有限公司专注于提供爱德华IH160真空泵维修。 

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