产品详情
  • 产品名称:EBARA ESA70W-D真空泵维修

  • 产品型号:ESA70W-D
  • 产品厂商:Ebara 荏原
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简单介绍:
东莞曼特莱真空科技有限公司提供EBARA ESA70W-D真空泵维修以及各类进口真空泵维修。配件确保原装进口,物美价廉。 欢迎来电垂询EBARA ESA70W-D真空泵维修价格。
详情介绍:

ESA系列是新研发的独特干式真空泵,具有优越的高速排气性能,从而适应了LCD溅射制膜装置,真空干燥制程,大型

L/L等工艺要求。并拥有高附加价值,对应气体负荷自动控制转速,高通信功能等。

特点:
● 适用于大型真空反应室的高速排气       
● 具有高性能通信机能
● 转速自动调节功能               
● 采用高度控制泵运转方式
● 采用大口径转子,设计上较好小型          
● 不产生真空泵大型化所引起的搬运性能降低
● 也可用于有机溶剂排气上用的特别规格
ESA Series
Specifications Unit ESA25S ESA70W ESA200W ESA300W ESA500W
Pumping Speed 50/60 Hz CFM 88/106 274/296 706 1060 1766
L/min 2500/3000 7000/8400 20000 30000 50000
M3/Hr 150/180 420/504 1200/504 1800 3000
Ultimate Pressure 50/60 Hz mTorr 3.98*10-5/3.00*10-5 3.00*10-6/2.03*10-6 3.97533E-06 4 7.5*10-6
Pa 5.3/4.0 0.4/0.27 0.53 0.53 1
mBar 0.053/.04 0.004/0.0027 0.0053 0.0053 0.01
Connection Gas Inlet NW 50 NW 50 NW 80 ISO 100 ISO 100
Gas Outlet NW 40 NW 40 NW 40 NW 40 NW 50
Power at Ultimate Pressure  KW 3.4 7.3 6.7
Maximum Power KW 4 12.5 24.1
Cooling Water Requirements Min. Flow Rate 3.5 3.5 3.5 6 6
L/min
Bearing and Dilution N2 Bearing Seals 11 15 12 5 6
L/min
Cabinet Dimensions inches 35.4 x 15.5 x 19.7 39.3 x 15.7 x 31.5 38.2 x 15.7 x 31.9 43.7 x 24.4 x 35.6 60.5 x 24.4 x 41.1
LxWxH  mm 900 x 394 x 500 997 x 400 x 800 970 x 400 x 810 1110 x 620 x 905 1537 x 620 x 1045
Weight lbs 528 836 902 1543 1650
kg 240 380 410 700 750
一、进口真空泵维修
1、BOC EDWARDS(爱德华):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿尔卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(莱宝):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
5、EBARA(荏原):ESA系列、EST系列、ESR系列、A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列,EBARA ESA70W-D真空泵维修等
6、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
7、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
8、BECKER(贝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
9、RIETSCHLE(里其乐):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
10、ULVAC(爱发科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
11、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
二、进口真空泵配件销售:
1、类型:真空泵专用维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
2、品牌:BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(荏原)、KASHIYAMAORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。
三、进口真空油销售:
品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS专用真空油、ADIXEN专用真空油等。
东莞曼特莱真空科技有限公司热忱欢迎您的到来,欢迎来电垂询EBARA ESA70W-D真空泵维修价格。


产品名称:EBARA ESA70W-D真空泵维修


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